陜西特殊氣體的半導(dǎo)體氣體種類可分為哪些類別
發(fā)布日期：2022-09-16 關(guān)注次數(shù)：1180
目前半導(dǎo)體氣體市面上特殊氣體一般分為：
1、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等；
2、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…
3、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等；
4、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等。
半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害的。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn)，所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。
1、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等；
2、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…
3、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等；
4、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等。
半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害的。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn)，所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。
